| タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡（SEM） |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| 解像度 | 15nm @ 30KV（SE） | 5nm @ 30KV（BSE） |
| 倍率 | 20x〜60000x | 20x〜150000x |
| 電子銃 | プレセンタリングタングステンフィラメントカートリッジ、バイアス電圧自動システム |
| 電圧 | 加速電圧1KV〜30KV、
1KV / 5KV / 10KV / 15KV / 20KV/30KV-6ステップ |
| レンズシステム | 2段電磁コンデンサーレンズ、
1段電磁対物レンズ |
| 絞り | - | 調整可能なアイリス絞り30/50/50/100um、高解像度画像を取得するためにエレクトロビームを変更 |
| 真空システム | ロータリーポンプ、100リットル/分
ターボ分子ポンプ、70リットル/秒
ポンプダウンTtime<3分
全自動真空制御 |
| 検出器 | SE：二次電子検出器 |
| BSE：後方散乱検出器（オプション） |
| EDS :(オプション） |
| 標本作業段階 | 3軸システム、X、Y軸：35mm / R軸：360° | 5軸システム、X、Y軸：35mm / R軸：360°、Z：0〜22mm /傾斜軸：0〜45° |
| 最大標本 | 直径70mm、高さ30mm | 直径80mm、高さ35mm |
| イメージシフト | X、Yイメージシフト±150um |
| 画像スキャンシステム | 高速スキャン：320x240（スキャン時間：0.1秒）
スロースキャン：640x480（スキャン時間：3秒）
写真モード1：1280x960
写真モード2：2560x1920
写真モード3：5120x3840 |
| 画像形式 | BMP、JPEG、PNG、TIFF |
| 自動機能 | オートスタート、オートフォーカス、オートブライトネス/コントラスト |
| 写真ディスプレイ | 倍率、検出器の種類、加速電圧、真空モード、ロゴ（テキスト）、日付と時刻、テキストマーカー、スケールバーなど。 |
| コンピューターソフトウェア | PC Work Station Win 10システム、SEM顕微鏡全体の動作を完全に制御するプロフェッショナルな画像分析ソフトウェア、Inter I5以上のコンピューター仕様3.2GHz、4Gメモリ、24 "IPS LCDモニター、500Gハードディスク、マウス、キーボード |
| サイズと重量 | 顕微鏡本体460x600x950mm、総重量95Kg |
| A63.7006、A63.7015標準ツールおよび部品の装備 |
| 1 | プレセンタリングタングステンフィラメント | 5個/箱 |
| 2 | サンプルステージ径15mm | 10個 |
| 3 | サンプルステージ径25mm | 10個 |
| 4 | サンプルステージ径15mm45°傾斜 | 5個 |
| 5 | サンプルステージ径15mm90°傾斜 | 5個 |
| 6 | 高さ標準マスター | 1個 |
| 7 | 六角レンチ | 1セット |
| 8 | SEMソフトウェアCD | 1個 |
| 9 | カーボン導電テープ） | 1個 |
| 10 | はさみ | 1個 |
| 11 | オーリラーブ | 1個 |
| 12 | ピンセット | 1個 |
