研究レベルの原子間力顕微鏡

• 研究レベル、コントローラーと本体の組み合わせ設計、接触モード、タッピングモード、10倍の対物レンズ。
• 精密レーザーおよびプローブ位置決め装置。プローブの交換とスポットの調整が簡単で便利です。
• さまざまな精度とスキャン範囲の要件に応じて、高精度で大規模な圧電セラミックスキャナーを選択できます
• 10X APO対物レンズの光学的ポジショニング、焦点を合わせる必要がない、リアルタイムの観察、およびプローブサンプルスキャン領域のポジショニング。
• スプリングサスペンションの耐衝撃性はシンプルで実用的であり、強力な干渉防止能力を備えています。

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• ◆レーザー検出ヘッドとサンプルスキャンステージが統合されており、構造が非常に安定しており、干渉防止が強力です。

• ◆精密プローブ位置決め装置、レーザースポットアライメント調整は非常に簡単です

  ◆単軸駆動サンプルは自動的にプローブに垂直に接近するため、針先はサンプルスキャンに対して垂直になります

  ◆モーター制御の加圧圧電セラミック自動検出のインテリジェントニードルフィード方式は、プローブとサンプルを保護します

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  ◆高精度で幅広い圧電セラミックスキャナーを自由に選択できます

   

  ◆高倍率の対物レンズ自動光学測位、焦点を合わせる必要がない、リアルタイムの観察とプローブサンプルスキャンエリアの測位

• ◆スプリングサスペンション耐衝撃方式、シンプルで実用的、優れた耐衝撃効果

  ◆金属シールド防音ボックス、高精度温湿度センサー内蔵、作業環境のリアルタイム監視

• ◆統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、98％を超えるナノメートルの特性評価と測定精度

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• 仕様	A62.4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  作業モード	タッピングモード [オプション] 接触モード 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード	接触モード タッピングモード [オプション] 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード	接触モード タッピングモード [オプション] 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード	接触モード タッピングモード [オプション] 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード
  現在のスペクトル曲線	RMS-Z曲線 [オプション] FZフォースカーブ	RMS-Z曲線 FZフォースカーブ	RMS-Z曲線 FZフォースカーブ	RMS-Z曲線 FZフォースカーブ
  XYスキャン範囲	20×20um	20×20um	50×50um	50×50um
  XYスキャン解像度	0.2nm	0.2nm	0.2nm	0.2nm
  Zスキャン範囲	2.5um	2.5um	5um	5um
  Yスキャン解像度	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm
  スキャン速度	0.6Hz〜30Hz	0.6Hz〜30Hz	0.6Hz〜30Hz	0.6Hz〜30Hz
  スキャン角度	0〜360°	0〜360°	0〜360°	0〜360°
  サンプルサイズ	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm
  XYステージ移動	15×15mm	15×15mm	25×25um	25×25um
  衝撃吸収設計	スプリングサスペンション	スプリングサスペンション 金属シールドボックス	スプリングサスペンション 金属シールドボックス	-
  光学システム	4倍の目的 解像度2.5um	4倍の目的 解像度2.5um	10倍の目的 解像度1um	接眼レンズ10倍 インフィニティプランLWDAPO5x10x20x50x 5.0Mデジタルカメラ 10インチLCDモニター、測定付き LEDケーラー照明 同軸粗およびファインフォーカシング
  出力	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0
  ソフトウェア	XP/7/8/10に勝つ	XP/7/8/10に勝つ	XP/7/8/10に勝つ	XP/7/8/10に勝つ

• 顕微鏡	光学顕微鏡	電子顕微鏡	走査型プローブ顕微鏡
  最大解像度（um）	0.18	0.00011	0.00008
  述べる	油浸1500x	ダイヤモンド炭素原子のイメージング	高次のグラファイト炭素原子のイメージング

• プローブとサンプルの相互作用	信号の測定	情報
  力	静電力	形
  トンネル電流	現時点の	形状、導電率
  磁力	段階	磁気構造
  静電力	段階	電荷分布

• 	解像度	労働条件	作業温度	サンプルにダメージを与える	検査深度
  SPM	原子レベル0.1nm	通常、液体、真空	部屋または低温	なし	1〜2原子レベル
  TEM	ポイント0.3〜0.5nm ラティス0.1〜0.2nm	高真空	部屋の温度	小さな	通常<100nm
  SEM	6-10nm	高真空	部屋の温度	小さな	10mm @ 10x 1um @ 10000x
  FIM	原子レベル0.1nm	超高真空	30〜80K	ダメージ	原子の厚さ

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