プローブ走査型原子間力顕微鏡

• ガントリースキャニングヘッドの設計、大理石のベース、真空吸着ステージ、サンプルサイズと重量は基本的に無制限です
• プローブとサンプルを保護するためのモーター制御圧電セラミックの自動検出を備えたインテリジェントなニードルフィード方式
• 自動光学測位、焦点を調整する必要はありません、リアルタイムの観察と測位プローブのサンプルスキャンエリア
• 閉じた金属シールド、空気圧衝撃吸収テーブル、強力な干渉防止能力を装備。
• 統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、ナノメートルの特性評価と測定精度は98％より優れています

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• ◆サンプルを静止させ、プローブを動かしてスキャンする、中国初の商用原子間力顕微鏡。

  ◆サンプルのサイズと重量はほぼ無制限で、特に非常に大きなサンプルの検出に適しています。

• ◆サンプルステージは拡張性が高く、複数の機器を組み合わせてその場での検出を実現するのに非常に便利です。

  ◆サンプル移動テーブルとリフティングテーブルの電気制御。マルチポイント位置でプログラムできるため、高速自動検出を実現します。

  ◆ガントリースキャニングヘッドの設計、大理石のベース、真空吸着および磁気吸着ステージ。

• ◆モーターは、圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針送り方法を自動的に制御して、プローブとサンプルを保護します。

• ◆高倍率の補助光学顕微鏡ポジショニング、プローブとサンプルスキャンエリアのリアルタイム観察とポジショニング。

• ◆統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、ナノメートルの特性評価および測定精度が98％を超えています。

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• 	A62.4510	A62.4511
  作業モード	接触モード タッピングモード [オプション] 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード	接触モード タッピングモード [オプション] 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード
  現在のスペクトル曲線	RMS-Z曲線 FZフォースカーブ	RMS-Z曲線 FZフォースカーブ
  XYスキャンモード	プローブ駆動スキャン、 ピエゾチューブスキャナー	サンプル駆動スキャン、閉ループ圧電シフトスキャンステージ
  XYスキャン範囲	70×70um	閉ループ100×100um
  XYスキャン解像度	0.2nm	閉ループ0.5nm
  Zスキャンモード		プローブ駆動スキャン
  Zスキャン範囲	5um	5um
  Zスキャン解像度	0.05nm	0.05nm
  スキャン速度	0.6Hz〜30Hz	0.6Hz〜30Hz
  スキャン角度	0〜360°	0〜360°
  サンプル重量	≤15Kg	≤0.5Kg
  ステージサイズ	直径100mm [オプション] 直径200mm 直径300mm	直径100mm [オプション] 直径200mm 直径300mm
  ステージXYムービング	100x100mm、解像度1um [オプション] 200x200mm 300x300mm	100x100mm、解像度1um [オプション] 200x200mm 300x300mm
  ステージZ移動	15mm、解像度10nm [オプション] 20mm 25mm	15mm、解像度10nm [オプション] 20mm 25mm
  衝撃吸収設計	スプリングサスペンション [オプション] アクティブショックアブソーバー	スプリングサスペンション [オプション] アクティブショックアブソーバー
  光学システム	目的5x 5.0Mデジタルカメラ [オプション] 目的10倍 目標20倍	目的5x 5.0Mデジタルカメラ [オプション] 目的10倍 目標20倍
  出力	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0
  ソフトウェア	XP/7/8/10に勝つ	XP/7/8/10に勝つ
  本体	ガントリースキャンヘッド、マーブルベース	ガントリースキャンヘッド、マーブルベース

• 顕微鏡	光学顕微鏡	電子顕微鏡	走査型プローブ顕微鏡
  最大解像度（um）	0.18	0.00011	0.00008
  述べる	油浸1500x	ダイヤモンド炭素原子のイメージング	高次のグラファイト炭素原子のイメージング

• プローブとサンプルの相互作用	信号の測定	情報
  力	静電力	形
  トンネル電流	現時点の	形状、導電率
  磁力	段階	磁気構造
  静電力	段階	電荷分布

• 	解像度	労働条件	作業温度	サンプルにダメージを与える	検査深度
  SPM	原子レベル0.1nm	通常、液体、真空	部屋または低温	なし	1〜2原子レベル
  TEM	ポイント0.3〜0.5nm ラティス0.1〜0.2nm	高真空	部屋の温度	小さな	通常<100nm
  SEM	6-10nm	高真空	部屋の温度	小さな	10mm @ 10x 1um @ 10000x
  FIM	原子レベル0.1nm	超高真空	30〜80K	ダメージ	原子の厚さ

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