平らなスキャンの原子力の顕微鏡

• ガントリー走査ヘッドの設計、大理石の基盤、真空の吸着段階、サンプルの大きさおよび重量は基本的に無制限である
• A62.4510 +広い範囲の高精度とスキャンできるクローズド・ループ三軸の独立した圧力転位の走査器、
• 調査およびサンプルを保護するモーター制御の圧電気の製陶術の自動検出を用いる理性的な針の供給方法
• 焦点を調節するために自動光学位置、必要性無し実時間観察および調査のサンプル スキャン区域を置くこと
• 、空気のshock-absorbingテーブル閉鎖した金属の盾によって装備されている、強いanti-interference能力

          ◆調査およびサンプルの結合された移動式スキャンを実現する中国の最初の商業原子力の顕微鏡;

          ◆大規模な高精度のスキャンを達成するのに三軸の独立したクローズド・ループ圧電気の転位の走査テーブルを使用する中国の第1;

          ◆三軸の独立したスキャン、XYZは互いに、三次元材料および地形の検出のために非常に適した影響を与えない;

          ◆速い自動検出を実現するために分岐位置とプログラムすることができるサンプル移動テーブルおよび持ち上がるテーブルの電気制御、;

          ◆ガントリー走査ヘッドの設計、大理石の基盤、真空の吸着および磁気吸着段階;

          ◆モーターは調査およびサンプルを保護するために圧電気の陶磁器の自動検出の理性的な針供給方法を自動制御;

          ◆高い拡大の調査およびサンプル スキャン区域の補助光学顕微鏡の位置、実時間観察および位置;

          ◆クローズド・ループ圧電気のスキャンの段階は非線形訂正を要求しないし、ナノメーターの性格描写および測定の正確さは99.5%よりよい。

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• 	A62.4510	A62.4511
  仕事モード	接触モード 叩くモード [任意] 摩擦モード 段階モード 磁気モード 静電気モード	接触モード 叩くモード [任意] 摩擦モード 段階モード 磁気モード 静電気モード
  現在のスペクトルのカーブ	RMS-Zのカーブ F-Z力のカーブ	RMS-Zのカーブ F-Z力のカーブ
  X-Y走査方式	調査によって運転されるスキャン、 Piezo管の走査器	サンプルによって運転されるスキャン、閉じたループの圧電気の転位のスキャンの段階
  X-Yスキャン範囲	70×70um	閉じたループ100×100um
  X-Yスキャン決断	0.2nm	閉じたループ0.5nm
  Zの走査方式		調査によって運転されるスキャン
  Zスキャン範囲	5um	5um
  Zスキャン決断	0.05nm	0.05nm
  スキャン速度	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
  スキャン角度	0~360°	0~360°
  サンプル重量	≤15Kg	≤0.5Kg
  段階のサイズ	Dia.100mm [任意] Dia.200mm Dia.300mm	Dia.100mm [任意] Dia.200mm Dia.300mm
  段階のX-Y移動	100x100mmの決断1um [任意] 200x200mm 300x300mm	100x100mmの決断1um [任意] 200x200mm 300x300mm
  段階Z移動	15mmの決断10nm [任意] 20mm 25mm	15mmの決断10nm [任意] 20mm 25mm
  Shock-Absorbing設計	ばねの懸濁液 [任意] 活動的な衝撃吸収材	ばねの懸濁液 [任意] 活動的な衝撃吸収材
  光学系	客観的な5x 5.0Mデジタル カメラ [任意] 客観的な10x 客観的な20x	客観的な5x 5.0Mデジタル カメラ [任意] 客観的な10x 客観的な20x
  出力	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  ソフトウェア	勝利XP/7/8/10	勝利XP/7/8/10
  主体	ガントリー走査ヘッド、大理石の基盤	ガントリー走査ヘッド、大理石の基盤

• 顕微鏡	光学顕微鏡	電子顕微鏡	スキャンの調査の顕微鏡
  最高の決断（um）	0.18	0.00011	0.00008
  注目	オイルの液浸1500x	イメージ投射 ダイヤモンドの炭素原子	イメージ投射高位黒鉛の炭素原子

• 調査サンプル相互作用	測定信号	情報
  力	静電気力	形
  トンネルの流れ	現在	形、伝導性
  磁力	段階	磁気構造
  静電気力	段階	充満配分

• 	決断	作動状態	働くTemperation	見本抽出するべきDamge	点検深さ
  SPM	原子のレベル0.1nm	、正常の真空液体	部屋か低いTemperation	どれも	1~2個の原子のレベル
  TEM	ポイント0.3~0.5nm 格子0.1~0.2nm	高真空	部屋Temperation	小さい	通常 <100nm>
  SEM	6-10nm	高真空	部屋Temperation	小さい	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	原子のレベル0.1nm	極度の高真空	30~80K	Damge	原子の厚さ

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