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▶A64.5401は特色になる 1) 統合された操作を用いる測定そして分析ソフトウェアは操作のためのインターフェイスを転換する必要はないし構成変数は測定の前に先立って置かれる。ソフトウェアは自動的に測定データを数え、すぐにバッチ測定機能を実現できるデータ レポートの輸出機能を提供する。 2) 自動複数の区域の測定機能、バッチ測定、自動焦点、自動明るさの調節および他の自動機能を提供しなさい。 3) Provideステッチの測定機能。 4) 位置調節、訂正、ろ過および抽出の4つのモジュールのデータ処理機能を提供しなさい。位置調節は水平になり、映るイメージのような機能を含んでいる;訂正は空間的なろ過、修正、およびピークにdenoisingのような機能を含んでいる;ろ過は形のろ過する取り外し、標準および分光ろ過のような機能を含んでいる;抽出は地域を得、プロフィールを得ることのような機能を含んでいる。 5) 幾何学的なプロフィールの分析、荒さの分析、構造分析、周波数分析およびファンクション分析を含む5つの主要な分析機能を提供しなさい。その中で、幾何学的なプロフィールの分析はステップ高さのような特徴が、間隔、角度、湾曲および他の機能および直線性、円形の許容評価および他の機能含まれている;荒さの分析は国際規格ISO4287のISO25178表面の粗さに従ってライン荒さが、程度および他の全変数分析機能を水平にするISO12781含まれている;構造解析は気孔の容積がおよびたらいの深さ、等含まれている;周波数分析は質の方向およびスペクトル分析のような機能が含まれている;関数解析学はSK変数および容積変数のような機能が含まれている。 6) 1キーの分析のような補助分析機能を提供すれば測定で提供される自動測定およびバッチ測定機能と結合される複数ファイル分析、一定の分析の型板小型の精密装置のバッチ測定を実現し、直接分析データを得ることができる。 |
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共焦点の顕微鏡はさまざまな精密装置および材料のナノメーターの測定に使用するテストの器械である。それは多孔性ディスク平行スキャンの技術、精密なZ方向スキャン装置の表面の無接触スキャンを行い、表面3Dイメージを確立するためにアルゴリズムを模倣するモジュール、3D等と結合される共焦点の技術の原則に基づいている。装置表面の3Dイメージはシステム・ソフトウェアを通して行われる。データ処理および分析、 そして装置の表面の地形の3D測定のための光学点検器械を実現するために装置の表面質を反映する第2および3D変数を得なさい。 |
| A64.5401共焦点の顕微鏡の技術仕様シート | ||
| 測定の主義 | 共焦点の光学系 | |
| 顕微鏡の対物レンズ | 10× （標準）、20×、50×、100× （任意） | |
| 視野 | 160×160 μm~1.6×1.6 mm | |
| スキャン フレームrate*1 | ≥10HZ | |
| 高さの測定 | Repeatability*2 | 20×:40nm;50×:20nm;100×:20nm |
| Accuracy*2 | ± （0.2+L/100）のμm | |
| 表示決断 | 0.5nm | |
| 幅の測定 | repeatability*3 | 20×:100nm;50×:50nm;100×:30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| 表示決断 | 1nm | |
| X-Y変位のプラットホーム | サイズ | 210×210 mm |
| 移動範囲 | 100×100 mm | |
| 負荷 | 10kg | |
| 制御方式 | 電気 | |
| Z方向動き範囲 | 100つのmm | |
| 対物レンズタワー | モーターを備えられる5穴 | |
| 照明 | 光源 | LED |
| 最大出力 | 840mW | |
| 次元 | 590×390×540mm | |
| 総重量 | 45kg | |
| 電源 | AC220V/50Hz | |
| 労働環境 | 温度10℃~35℃、気温傾度の <1>℃の/15分、湿気30~80%の振動 <0> | |
| 通知:*1は20±2°C.の周囲温度で4.7µmの標準のステップ サンプル ブロックを測定するのに20xレンズを使用する。 *2は20回または多くのレンズとの20±2°Cの周囲温度で4.7µmの標準のステップ サンプル ブロックを測定する。 *3は20回または多くのレンズを20±2°C.の周囲温度で標準的なレチクルのサンプルを測定する使用する。 |
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| 対物レンズの指定 | モデル視野の作動距離（W.D.）の開口数（N.A.） | |
| 10X 1600×1600のμm 10.6 mm 0.25 | ||
| 20X 800×800のμm 1.3 mm 0.40 | ||
| 50X 320×320のμm 0.38 mm 0.75 | ||
| 100X 160×160のμm 0.21 mm 0.90 | ||
| 製品構成のリスト 標準的な構成: |
1) A64.5401主体 | |
| 2) X-Y変位の段階:自動変位の段階 | ||
| 3) ブランド コンピュータ | ||
| 4) システム口径測定モジュール | ||
| 5) ジョイスティック | ||
| 6) 共焦点の顕微鏡ソフトウェア | ||
| 7) 器械の付属品箱 | ||
| 8) プロダクト マニュアル | ||
| 9) プロダクト証明書、保証カード | ||
| 任意 | 1) 測定の対物レンズ:20×、50×、100× | |
| 2) 真空の吸引のテーブル（半導体ウエハーのために）:6インチ、8インチ; | ||
| 3) 自動測定の接続の測定機能モジュール（ハードウェア サポートを要求する） | ||
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表面輪郭、表面欠陥のような表面の地形の特徴を行いなさい、さまざまなプロダクト、部品および材料の状態、腐食の状態、平坦、荒さ、うねり、気孔のギャップ、ステップ高さ、曲がる変形および処理状態を身に着けなさい。測定および分析。 |
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▶4.1高精度および高い反復性 標準に合う測定を保障するために低雑音イメージ投射 センサーで、高性能光学部品およびエンコーダーおよび優秀な3D復元のアルゴリズム構成される測定システム;high-levelに測定の反復性を保障するために測定工業で長年にわたり定着させる、工業デザインの同じラインおよび上の処理のレベル。 |
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▶4.2高速平行スキャン 多孔性ディスクを使用してプロフィールの分岐平行スキャンは検流計の従来の一点スキャンの機構と比較される仕事の効率を非常に改善しスキャンは数秒だけに完了することができる。 |
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▶4.3強い適応性 測定システムに異なったサンプル姿勢、表面の複雑さおよび表面の反射力のための超高度のダイナミック レンジがある。
▶4.4統合された測定および分析ソフトウェア 1) 測定および分析は、切換えなしで、同じインターフェイスで測定データ自動的に数えられる作動し、急速なバッチ測定の機能は実現される; 2) 視覚窓はユーザーがリアルタイムのスキャン プロセスを観察することができるように便利である; 3) 注文の分析の型板の自動測定機能と結合されて、それは自動的に多領域測定および分析プロセスを完了できる; 4) 幾何学的な分析、荒さの分析、構造分析、周波数分析およびファンクション分析の5つの機能モジュールは完全である; 5) 1かちりと言う音の分析、複数ファイル分析は分析の型板、バッチ サンプルの1かちりと言う音の分析として、自由に結合された分析項目救われ、データ解析および統計的な図表機能は提供される; 6) 300以上の第2および3D変数はISO/ASME/EUR/GBTおよび他の標準に従って測定することができる。 |
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▶4.5精密ジョイスティック X、YおよびZの3方向の変位の調節の機能と統合されるジョイスティックはすぐに段階翻訳およびZ方向集中のような前測定の仕事を完了できる。
▶4.6 Anti-collision設計 Misoperationによって引き起こされる衝突が測定された原因であるために対物レンズおよび目的への損傷を避けなさい。
▶4.7十分に電気顕微鏡 一連の電気部品と装備されていて、これらの密接に接続された電気部品は観察を速くおよび簡単にするために協力する。 |
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