A63 について7088 | |
決議 | 1.0nm@30KV (SE),1.5nm@1KV (SE) |
拡大 | 1x~2000000x |
電子銃 | ショットキー・フィールド・エミッション・ガン |
電圧 | 加速電圧 0.02~30KV |
電子ビーム | 1pA~20nA |
バキュームシステム | 1 スプッターイオンポンプ,1 トルボ分子ポンプ,1 メカニカルポンプ |
検出器 | レンズでSE,サンプルルームでSE,BSE,CCD |
ポートを拡張する | BSE,EDS,EBSD,CLなどのためのサンプルルームのポートを拡張します. |
標本の段階 | 5 軸オートステージ,移動距離:X=125mm,Y=125mm,Z=50mm,R=360°,T=-5°~+70° |
最大個体数 | 標本室 直径330mm 高さ260mm |
画像システム | リアル静止画像 最大解像度 256x256~16k~16k ピクセル |
コンピュータとソフトウェア | PCワークステーション Windowsシステム,プロの画像分析ソフトウェアで,SEM顕微鏡の操作,マウス,キーボードを完全に制御する |
コントロールパネル | 含まれている |
寸法と重量 | 主体1900×1100×1800mm 総重量800kg |
選択用アクセサリー | |
A50 について7091 | イオンビームクリーナー |
A50 について7092 | フィールド・エミッション・ガン・ランプ |
▶優良な電子光学設計 ● 人 の 行動熱場放出電子銃,安定光束,高解像度画像 ● 人 の 行動フルチューブ加速技術により,低加速電圧で電子束の高い画像処理性能が確保される ● 人 の 行動電気静止レンズと磁気レンズの複合レンズ設計,オブジェクトレンズは磁気漏れがないし,磁気サンプルのイメージングは心配がない |
▶総合的な信号収集システム ● 人 の 行動 二次電子の2種類,逆分散電子と送電電子から同時に信号を収集できる. ● 人 の 行動 サンプルの形状と組成の対比は同時に表示され,サンプルの顕微鏡形状と組成情報を最大限に示します. |